所以无论是台积电仍是三星，想要持续深耕高精度工艺，就必需从ASML处抢购年产量仅为数十台的高端EUV光刻机。

由此可见，蚀刻机的工作精度丝绝不亚于用光将掩膜上的电路构造复制到硅片上的光刻机。

在全球光刻机制造领域，荷兰巨头ASML垄断寰球多年。

但在芯片制造进程中，中心设备并非只有光刻机一种，蚀刻机的重要性也不容小觑。材料显示，蚀刻机重要负责把复制到硅片上的电路结构进行微雕，雕刻出沟槽跟接触点，为线路供给空间。

因此,天骄街道多措并举，保证大国点名点到你！，控制蚀刻机制作技巧对中国半导体工业而言同样存在主要意思。在这一方面不同于光刻机范畴，蚀刻机是目前我国最具上风的半导体装备领域。